Nanokalvo mullistaa anturit : molekyylitason kerrosrakenteita
Finna-arvio
Nanokalvo mullistaa anturit : molekyylitason kerrosrakenteita
Tallennettuna:
| Kieli |
suomi |
|---|---|
| Huomautukset |
Atomikerrosten kasvatus ALD-menetelmällä (Atomic Layer Deposition). FinNano-teknologiaohjelma. Elektroniikan suunnittelu -numero. |
| Sarja | Finnish R & D |
| Luokitus | |
| Aiheet/asiasanat | |
| Lisätiedot | Riikka Puurunen, Jaakko Saarilahti, Hannu Kattelus, Sven Lindfors, Pekka J. Soininen, Juhana Kostamo |
