Mikrokokoiset sähkömekaaniset järjestelmät (MEMS = Micro-Electro-Mechanical System).
Valmistajia ja tuotteita: Texas Instruments ja kaksi miljoonaa mikropeiliä siältävä DLP-piiri; suomalainen VTI Technologies ja kehitteillä oleva kellopiiri; SiTime ja sen SiT8003-kellopiiri; Freescale ja sen "sensor hub" -tekniikka.