Nanosovelluksia teollisuuteen : uusia kohteita tutkitaan Micronovassa
Finna-arvio
Nanosovelluksia teollisuuteen : uusia kohteita tutkitaan Micronovassa
Tallennettuna:
| Kieli |
suomi |
|---|---|
| Huomautukset |
Atomikerrosten kasvatus ALD-menetelmällä (Atomic Layer Deposition), ALDUS-tutkimusprojekti VTT:n ja TKK:n Micronova-tutkimuskeskuksessa. ALDUS = Nanopinnoitteiden teolliset sovellukset. FinNano-teknologiaohjelma. Elektroniikan suunnittelu -numero. |
| Sarja | Finnish R & D |
| Luokitus | |
| Aiheet/asiasanat | |
| Lisätiedot | Veli-Matti Airaksinen, Harri Lipsanen, Ilkka Tittonen, Sami Franssila |
