Mikrokokoiset sähkömekaaniset järjestelmät (MEMS = Micro-Electro-Mechanical System). Sovellusten suurin volyymi on autotekniikan kiihtyvyysantureissa, dataprojektorien mikropeilipiireissä ja erilaisissa RF-sovelluksissa.
Lisäksi mikrofluidistiikan ja nanotekniikan sovelluksista (NEMS).