Kiteet historiaan : MEMS kutistaa RF-referenssit
Finna rating
Kiteet historiaan : MEMS kutistaa RF-referenssit
Saved in:
| Language |
Finnish |
|---|---|
| Item Description |
Modernien prosessointimenetelmien avulla piistä voidaan valmistaa mikrokokoisia mekaanisia rakenteita. Mikromekaanisilla piivärähtelijöillä on mahdollista korvata perinteiset kvartsikiteet. Erikoisnumero, marraskuu 2003. |
| Series | Finnish R & D |
| Classification | |
| Subjects/keywords | |
| Additional Information | Tomi Mattila ... et al |
