Pienempiä ja tarkempia antureita : MEMS-komponentteja metrologiaan
Finna-arvio
Pienempiä ja tarkempia antureita : MEMS-komponentteja metrologiaan
Tallennettuna:
| Kieli |
suomi |
|---|---|
| Huomautukset |
Erikoisnumero, marraskuu 2002. IST/ELMO-teknologiaohjelmiin kuuluva EMMA-tutkimus (ElectroMechanical Microcomponents for Precision Applications). |
| Sarja | Finnish R&D |
| Luokitus | |
| Aiheet/asiasanat | |
| Lisätiedot | Anu Kärkkäinen, Jukka Kyynäräinen, Aarne Oja ja Heikki Seppä |
