MEMS-kulut kuriin : kiekkotason paketointi
Finna-arvio
MEMS-kulut kuriin : kiekkotason paketointi
Tallennettuna:
| Kieli |
suomi |
|---|---|
| Huomautukset |
Mikromekaaniset anturit (MEMS). Hermeettinen 0-tason paketointi bondaamalla aktiivikiekolle suojakiekko. |
| Luokitus | |
| Aiheet/asiasanat | |
| Lisätiedot | Kimmo Henttinen et al |
